KWD台式匀胶机

KWD台式匀胶机型号：KWD

台式匀胶机：（Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜等其用途广泛包括适合硅片,晶片,基片,ITO导电玻璃等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工艺匀胶。 

技术参数：旋转速度：200-2000rpm，精度：±0.5%
匀胶时间：3-60s可调
基材尺寸：Φ200-Φ600 200mm×200mm～500×500mm
材料： 硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP等多种材料

电机功率：320w
LED数字显示：转速稳定度：±0.5%，胶的均匀性：±5%
Z大加速度：Z高加速度：≥500rpm/sec
仪器尺寸：980mm×855mm×855mm